深圳一企业造出可测1纳米的工业尺子：能直接测量芯片 ！

12月7日消息，据央视财经日前报道，其“专精特新 制造强国”系列节目报道深圳市中图仪器股份有限公司。

该公司历经18年用心打磨15把硬核科技“尺”，从纳米到百米，从接触式到非接触式，不断拓展工业测量领域全尺寸链条。

据公司董事长马俊杰介绍，其公司制造的显微测量仪，分辨率已达到了0.1纳米，在半导体领域已经大量使用，能够直接测量芯片。

例如，一枚看似光滑的晶圆，在显微测量仪下，表面看上去依然是错落有致，经过测量，高度差仅有6.1纳米，但还是需将它切割成更小的方块，才能使用。

此外，他们公司生产的闪测仪，测量速度非常快，他手机上的一块精密结构件，只需要几秒钟，几百个尺寸直接显示出来，而且达到了微米级的精度。

除了微小结构件外，他们团队也能测量巨型工业工件，研发的激光跟踪仪能够测量百米尺寸，是唯一同时具有微米级别测量精度，和百米工作空间的高性能光电仪器。

据悉，马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业，后在研究所工作期间，他发现实验室里的精密仪器全都来自国外，这让他产生了创业做国产几何测量仪的想法。

虽然他们公司18年来只做了15台测量仪，但是每一台都极具特色，均能解决工业生产中的测量痛点问题。